直線導軌可用于真空機器人，主要用于晶圓搬運行業，但是在真空環境下，對各部件的要求很多，但對于直線導軌來說，則主要是潤滑和材料兩方面。

  直線導軌在真空環境下也是需要潤滑的，而潤滑畫在真空環境下運行一段時間，也會蒸騰的，這些油脂會對晶圓造成污染，而且也會讓直線導軌失去油消作用。所以要選用真空專用油脂潤滑。另外一方面則對直線導軌的材料有要求，一般的直線導軌是用金屬和塑料制作的，這些材料在真空環境下，會對晶圓的質量產生影響，因此要選用特定的材料來制作直線導軌。此外比較重要的一點就是真空環境下，對直線導軌的精密度要求較高，因此要選用精密等級較高的直線導軌，否則很難保證晶圓的質量。

  除了以上幾點以外，直線導軌在真空下正常工作，還有很多標準，這就需要參考許多專業資料。